一、光刻机产业概述
1、光刻机的定义及分类
芯片生产主要包括沉积、光刻、蚀刻等7个步骤，其中光刻为核心步骤之一，主要负责把芯片设计图案通过光学显影技术转移到芯片表面，进而实现在半导体晶片表面上制造微小结构。光刻机生产具备高技术门槛，需要高度精密的物理设备和严格的控制流程，以达到所需的制造精度。而先进的芯片制程工艺需要先进的、高分辨率的光刻机进行适配，因此光刻机直接影响芯片的工艺制程与性能。
2、光刻机技术演进历程
光刻机的技术演进主要分为以下几个阶段：UV光刻机、干式DUV光刻机、浸入式DUV光刻机、Low-NAEUV光刻机和High-NAEUV光刻机。其中，浸入式DUV光刻机通过把物镜与晶圆之间的填充由空气改变为水，进而获得更高的数值孔径（NA），使光刻机具有更高的分辨率与成像能力。目前High-NAEUV光刻机的技术由阿斯麦公司研发中，阿斯麦预计在2025年实现出货。
二、光刻机行业发展相关背景
直到2002年，国家开始重视光刻机的研发，如今中国在逐步缩小和国际光刻机巨头的差距。目前国内光刻机市场规模较小，但是随着国家政策的支持和技术水平的提高，中国光刻机市场具有很大的发展潜力。
相关报告：华经产业研究院发布的《2023-2028年中国光刻机行业市场全景评估及投资战略规划研究报告》
三、光刻机行业产业链
1、光刻机行业产业链示意图
从光刻机的产业链来看，上游主要为光刻机生产所需的零件、组件和设备等，光刻机涉及的内部零件种类众多，且越高端的光刻机组成越复杂，如EUV内部零件多达8万件以上，其核心组件包括光源系统、双工作台、物镜系统、对准系统、曝光系统、浸没系统、光栅系统等，其中光源、晶圆曝光台、物镜和对准系统的技术门槛较为显著。因此，光刻机企业往往具备高外采率、与供应商共同研发的特点，而其下游应用主要包括芯片制造、功率器件制造、芯片封装等。
2、光刻机行业下游应用分析
随着半导体市场规模不断扩大，半导体设备市场规模也将持续扩容。尽管2022年全球经济下滑明显，下游需求受到显著影响，半导体设备市场仍在增长，达到1076.4亿美元的规模。在半导体设备的蓬勃发展态势下，未来光刻机的发展空间也较为广阔。
四、全球光刻机行业现状分析
1、全球光刻机行业市场规模
光刻机市场前三大供应商占据了绝大多数市场份额，2018-2022年，三大供应商的光刻机营收合计由123亿美元增长至198亿美元，对应CAGR为13%。据预计2023年全球的光刻机市场规模将达到252亿美元，有大幅上升。
2、全球光刻机销量
2017年至2022年期间，全球光刻机销量稳定提升。根据数据，2020年以来光刻机的销售额与销量稳定增长，2022年光刻机全球销量已达到510台，预计2023年该数据将持续增长至564台。
3、全球光刻机销量结构
2022年全球光刻机销量仍以中低端产品(KrF、i-Line)为主，ASML、Nikon和Canon的KrF、i-Line产品销量合计达394台，占比约71.5%；其次分别为ArFimmersio、Arfdry、EUV，占比分别为15.4%、5.8%及7.3%。其中，EUV是全球光刻机的重要发展方向之一，其价格远高于其他种类的光刻机。
五、光刻机行业竞争格局
1、光刻机行业竞争格局
全球光刻机市场的主要竞争公司为ASML、Nikon和Canon，其中ASML占据绝对霸主地位。2022年该三家厂商市场份额占比分别为82.14%、10.2%和7.65%，以ASML为首形成垄断格局。其中，超高端光刻机EUV领域中ASML独占鳌头，高端光刻机ArFi和ArFdry领域也主要由ASML占领，Canon主要集中在i-line光刻机领域，Nikon除EUV外均有涉及。
2、光刻机行业重点企业营收
阿斯麦是全球唯一一家能够设计和制造EUV光刻机设备的公司，单台EUV光刻机市场售价超过1亿美元。尼康除EUV光刻机外波长均可覆盖，佳能主要集中在i-line和KrF光刻机。2022年阿斯麦、尼康和佳能的营业收入分别为227.7、38.7和289.1亿美元。
六、光刻机行业未来发展趋势
据预计，2022年中国光刻机市场规模将达到27亿美元。上海微电子是国内主要的光刻机生产企业之一，其产品主要采用ArF、KrF和i-line光源，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求，28nm设备积极研发推进中，上海微电子自主研发的600系列光刻机已经突破了外国光刻机卡脖子，可批量生产90nm工艺的芯片。此外，还有北京华卓精科科技股份有限公司、北京科益虹源光电技术有限公司等，国内光刻机市场正在国家政策的支持下飞速发展。
华经产业研究院对中国光刻机行业发展现状、市场供需情况等进行了详细分析，对行业上下游产业链、企业竞争格局等进行了深入剖析，最大限度地降低企业投资风险与经营成本，提高企业竞争力；并运用多种数据分析技术，对行业发展趋势进行预测，以便企业能及时抢占市场先机；更多详细内容，请关注华经产业研究院出版的《2023-2028年中国光刻机行业市场深度分析及投资潜力预测报告》。
