一、行业综述
半导体过程控制设备包括检测设备、量测设备和过程控制设备，广义的半导体量测设备包括了Inspection和Metrology两大环节。半导体检测设备包括了异物缺陷、气泡缺陷和颗粒缺陷，而半导体量测设备主要包括光刻套刻偏移量、薄膜膜厚和三维形貌。检测指在晶圆表面上或电路结构中。量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。
过程控制设备分类及占比情况
资料来源：公开资料，华经产业研究院整理
二、政策环境
全球半导体化学品市场主要被欧美和日韩企业占据，但随着电子产业向中国转移、美国对中国半导体产业的封锁和国内配套产业链的完善，未来不断实现进口替代是国内半导体产业的趋势所向。国家近年对半导体产业的支持力度，以及下游产能扩张，推动国内半导体产业链迎来了高速发展的历史机遇。
中国半导体行业相关政策梳理
资料来源：政府公开报告，华经产业研究院整理
相关报告：华经产业研究院发布的《2023-2029年中国半导体量测设备行业市场全景评估及投资策略咨询报告》
三、产业链
国家将数字经济作为核心发展战略之一，半导体作为新一代信息技术的核心，是数字经济时代基石。要抓住新一轮科技和产业革命机遇，离不开半导体产业的发展。半导体行业经济体量巨大，是由上游支撑产业、中游制造产业和下游应用产业构成。尤其是下游应用领域不断拓宽。
半导体量测设备产业链
资料来源：公开资料，华经产业研究院整理
四、行业发展现状
1、全球半导体设备销售额
随着信息技术逇快速发展，全球对于半导体的需求急速增加，全球半导体设备销售额快速增长。据统计2022年销售额达到1076亿美元，同比增长4.87%。未来对于半导体的需求将进一步增加，销售额将会持续稳定增长。
2017-2022年全球半导体设备销售额及增速情况
资料来源：公开资料，华经产业研究院整理
2、全球半导体检测和量测设备市场情况
全球半导体检测和量测设备市场规模逐年增长，据统计，2020年市场规模达76.5亿美元，同比增长20.09%，2016年市场规模为47.6亿美元，增长幅度达60.71,2016年到2020年复合增长率为12.59%。
2016-2020年全球半导体检测和量测设备市场情况
资料来源：公开资料，华经产业研究院整理
3、中国半导体设备销售额
2022年全球半导体设备销售额1076.4亿美元，同比增长4.9%。分地区看，中国大陆半导体设备销售额282.7亿美元同比减少4.6%，占全球份额26.3，连续三年成为全球最大半导体设备市场。
2017-2022年中国半导体设备销售额及增速情况
资料来源：公开资料，华经产业研究院整理
4、中国半导体检测和量测设备市场情况
中国半导体检测和量测设备市场规模逐年增长，据统计，2020年市场规模达21亿美元，同比增长24.26%，2016年市场规模为7亿美元，增长幅度达60.71,2016年到2020年复合增长率为12.59%。
2016-2020年中国半导体检测和量测设备市场情况
资料来源：公开资料，华经产业研究院整理
5、设备销售份额
半导体测量设备中纳米图形晶圆缺陷检测设备销售额最高有18.9亿美元，占比为24.7%，其次是掩膜版缺陷检测设备销售额为8.6亿美元，占比11.3%，销售额第三的为关键尺寸量测设备，市场份额为7.8亿美元，占比10.2%。
半导体测量设备细分市场销售额情况
资料来源：公开资料，华经产业研究院整理
五、市场竞争格局
半导体量测设备格局较为集中,科磊半导体(KLA)一家厂商市占率超过50%，CR5为82.4%。主要是美系制造设备占比较高，而KLA在光学检测和软件建模等方面具备较大的技术优势；而另外一方面，量测设备需要与不同的工艺设备配套，对于线上良率提升来说重要性更加明显，导致了行业集中度更高。
半导体量测设备竞争格局
资料来源：公开资料，华经产业研究院整理
六、行业发展趋势
受益于国内半导体产业链的快速发展和供应链自主可控要求，参考KLA公司的成长之路，国内量测设备国产化需要率先在特定领域突围，在细分市场建立客户优势之后，开启横向和纵向扩张。随着工艺不断进步，产品制程节点越来越多，生产成本呈指数级提升，检测和量测设备在灵敏度、准确性、稳定性、吞吐量等指标上进一步提升。随着技术know-how得以解决，预计未来国产量测设备的行业将迎来弯道超车的机遇。
华经产业研究院通过对中国半导体量测设备行业海量数据的搜集、整理、加工，全面剖析行业总体市场容量、竞争格局、市场供需现状及行业典型企业的产销运营分析，并根据行业发展轨迹及影响因素，对行业未来的发展趋势进行预测。帮助企业了解行业当前发展动向，把握市场机会，做出正确投资决策。更多详细内容，请关注华经产业研究院出版的《2023-2029年中国半导体量测设备行业市场全景评估及投资策略咨询报告》。
