一、泛半导体废气治理产业概述
泛半导体领域主要指集成电路、光伏、面板等半导体主要应用领域等，目前泛半导体废气治理行业主要包括集成电路和光电显示器件等主要领域。
1、集成电路
集成电路制造的核心工艺流程主要包括：掺杂、光刻、刻蚀和薄膜工艺。主要废气包括、酸性、碱性、有机和工艺废气，主要存在清洗、氧化、干法腐蚀、离子注入、沉积等步骤中，主要污染物有盐酸、磷酸、硫酸、硝酸、氨水、丙酮等。
集成电路制造的核心工艺流程产生废气污染物
资料来源：《电子工业污染物排放标准（二次征求意见稿）》，华经产业研究院整理
2、面板
光电显示器件是指依靠矩阵点或线段的电子元件控制并激励屏幕发光，呈现信息供视觉感受的器件，主要包含 LCD、OLED 等。其中，TFT-LCD 的生产工艺流程主要包括阵列、彩膜、成盒和模组工序；AMOLED 的生产工艺流程主要包括阵列、蒸镀、切割和模组工序。
TFT-LCD和AMOLED主要生产工序产生的废气污染物
资料来源：《电子工业污染物排放标准（二次征求意见稿）》，华经产业研究院整理
二、泛半导体废气治理发展背景
1、需求背景
随着全球TFT-LCD面板产能向中国大陆转移，2020年我国TFT-LCD产能已经位居全球第一，中国大陆占据全球50%的产能。根据预测，由于大陆产能转移的持续进行，预计我国大陆整体设备资本开支将有所下降
2019-2024年中国大陆面板设备资本开支走势
资料来源：DSCC，华经产业研究院整理
全球晶圆厂资本开支力度逐年增加，2022年达613亿美元；据Gartner预测，2022-2025年仍将维持在500亿美元以上。从扩产节奏来看，全球晶圆厂仍处于扩产周期。
2019-2024年全球晶圆厂资本开支走势
资料来源：Gartner，华经产业研究院整理
2、政策背景
2015年以来，5G、LoT、汽车智能化电动化、人工智能，终端景气度接力，驱动半导体行业新成长。半导体作为工业皇冠、高端制造技术高地，行业发展被赋予国家安全、产业链安全等多重意义。半导体产业已成为全球发展竞争焦点，全球各国家地区持续出台相关政策护航。在此背景下，半导体产业景气度高位发展。
全球主要国家地区半导体产业发展支持政策梳理
资料来源：公开资料，华经产业研究院整理
三、泛半导体废气治理产业现状
1、泛半导体废气治理系统市场空间
预计2023年全球集成电路资本开支1466亿美元，假设2023年中国大陆的集成电路资本开支占全球15.5%，环保投入一般为总投入5%，根据《电子工业污染物排放标准》，废气治理占环保投入比例为30%，测算得2023年中国集成电路废气治理系统市场空间约23.9亿元，面板2023年开支约342亿元，市场空间约5.1亿元。
2023年中国集成电路和面板废气治理系统市场空间
资料来源：公开资料，华经产业研究院整理
2、泛半导体废气治理设备市场空间
根据京仪装备招股书，570 千片/月12英寸晶圆产能对应半导体专用工艺废气处理设备需求约5778 台，平均每单万片产能需要工艺废气处理设备需求100台，京仪装备L/S设备单价为50万元/台。结合晶圆厂扩产判断，经过测算， 2023年大陆废气治理设备空间64亿元。
2020-2023年中国大陆L/S设备市场空间走势
资料来源：公开资料，华经产业研究院整理
相关报告：华经产业研究院发布的《2023-2029年中国泛半导体废气治理行业发展监测及发展战略规划报告》；
四、泛半导体废气治理竞争格局
1、竞争格局
我国泛半导体产业起步晚于美国、日韩和中国台湾地区，对应的工艺废气治理业务发展相对滞后。市场目前由国际供应商主导，主要以Verantis Environmental Solutions Group、天和（上海）半导体制程排气工业有限公司、晃谊科技股份有限公司、KankenTechno、华懋科技股份有限公司为代表。国际供应商具有先进的技术和工艺水平，伴随下游客户产能转移将业务扩展至中国内地，在工艺技术、经验积累、客户资源、品牌影响力等方面具有先发优势。
国际泛半导体废气治理供应商基本情况
资料来源：盛剑环境招股书，华经产业研究院整理
2、盛剑环境
随着国内泛半导体行业的迅速发展，行业内的设备国产化程度也在逐渐提高。废气治理系统和设备作为泛半导体生产工艺不可分割的组成部分，存在大量的国产化需求。盛剑环境集成电路废气治理系统领域市占率达到20%左右，按照处理废气种类，分为酸碱废气处理系统、有毒废气处理系统、VOCs 处理系统、一般排气系统，并可按照废气成分进行综合配置；废气治理设备包括工艺排气管道、中央废气治理设备和泛半导体制程附属设备，数据显示，2021年盛剑环境废气治理系统和设备规模分别为8.37亿元和2.91亿元。
2017-2021年盛剑环境废气治理设备和系统营收走势
资料来源：企业公报，华经产业研究院整理
五、泛半导体产业趋势
我国泛半导体产业起步晚于美国、日韩和中国台湾地区，对应的工艺废气治理业务发展相对滞后。而国际供应商拥有先进的技术，与下游行业中的跨国企业建立了良好合作关系，随着下游行业在中国内地的发展，国际供应商随之将业务扩展至中国内地。近年随着下游行业产业投资力度加大，相应的废气治理行业迅速发展，发展出一批拥有完整的设计、生产、服务能力的国内大型供应商。国内少部分大型供应商参与了国内工艺废气治理的源起，积累了丰富经验并拥有相对稳定的优质客户群，目前国内具备竞争核心优势企业包括盛剑环境、京仪装备等。
华经产业研究院通过对中国泛半导体废气治理行业海量数据的搜集、整理、加工，全面剖析行业总体市场容量、竞争格局、市场供需现状及行业典型企业的产销运营分析，并根据行业发展轨迹及影响因素，对行业未来的发展趋势进行预测。帮助企业了解行业当前发展动向，把握市场机会，做出正确投资决策。更多详细内容，请关注华经产业研究院出版的《2023-2029年中国泛半导体废气治理行业发展监测及发展战略规划报告》。
