一、热处理设备分类
热处理主要包括氧化、扩散和退火工艺。氧化是一种添加工艺，是将硅片放入高温炉中，加入氧气与之反应，在晶圆表面形成二氧化硅。扩散是通过分子热运动使物质由高浓度区移向低浓度区，利用扩散工艺可以在硅衬底中掺杂特定的掺杂物，从而改变半导体的导电率，但与离子注入相比扩散掺杂不能独立控制掺杂物浓度和结深，因此现在应用越来越少。退火是一种加热过程，通过加热使晶圆产生特定的物理和化学变化，并在晶圆表面增加或移除少量物质。若设备形态划分，炉管设备可分为卧式炉、立式炉和快速热处理炉三类。
热处理设备分类
资料来源：华经产业研究院整理
二、热处理设备行业市场规模
半导体热处理热备包括快速热处理、氧化/扩散炉和栅栏堆叠设备。根据数据显示，2020年全球热处理设备市场规模15.37亿美元，其中快速热处理市场7.19亿美元，氧化/扩散设备市场5.52亿美元，栅极堆叠设备市场2.66亿美元。随着半导体国产化进程的加快，预计到2025年全球热处理设备市场规模将达到19.91亿美元，其中快速热处理市场9.37亿美元，氧化/扩散设备市场7.1亿美元，栅极堆叠设备市场3.44亿美元。
2019-2025年全球半导体热处理设备分类市场规模
资料来源：公开资料整理
相关报告：华经产业研究院发布的《2021-2026年中国热处理设备行业发展监测及投资战略规划研究报告》
三、热处理设备竞争格局
全球热处理设备整体市场呈现出寡头垄断的格局，其中美国的应用材料，日本的东京电子和日立国际电气（Kokusai）三家分别占据全球热处理设备市场46%、21%和15%的市场份额，此外我国的屹唐股份占比5%，北方华创占比0.2%。
全球热处理设备市场格局
资料来源：公开资料整理
单看快速热处理RTP设备，根据数据显示，应用材料仍然是全球第一大快速热处理RTP设备供应商，占据了69.7%的市场份额，而我国的屹唐股份也占据11.5%的市场份额，仅次于排名第一的应用材料。
全球快速热处理RTP设备市场格局
资料来源：公开资料整理
四、北方华创长江存储设备中标分析
2020年以来，国内芯片供应链受美国出口管制的影响，进一步加速导入国产化设备。以长江存储设备招中标情况为例，截至2021年6月30日，刻蚀机、薄膜沉积和氧化/扩散/热处理累计招标数分别达379台、675台和241台，国产化率约16%，相较2020年10%的国产化率进一步提升，其中ICP等离子体刻蚀机累计195台，国产化率达19%，北方华创ICP刻蚀设备在长江存储所占份额达12%。
北方华创中标长江存储设备情况
资料来源：公开资料整理
从长江存储的招标情况来看，热处理设备还是以国外厂商设备为主，国内厂商北方华创市占率逐年上升，截至今年10月，从设备数量来看，北方华创热处理设备在长江存储的占比已经超过了30%，屹唐半导体占比1%。
长江存储热处理设备中标比例
资料来源：公开资料整理
华经产业研究院对中国热处理设备行业的发展现状、产业链发展格局及市场供需形势进行了具体分析，并从行业的政策环境、经济环境、社会环境及技术环境等方面分析行业面临的机遇及挑战。还重点分析了重点企业的经营现状及发展格局，并对未来几年行业的发展趋向进行了专业的预判。为企业、科研、投资机构等单位了解行业最新发展动态及竞争格局，把握行业未来发展方向提供了专业的指导和建议。更多详细内容，请关注华经产业研究院研究出版的《2021-2026年中国热处理设备行业投资分析及发展战略研究咨询报告》。
