泛半导体废气治理

2022年中国泛半导体废气治理趋势分析，晶圆等支出居高位，国产化替代加速「图」

2023年全球集成电路资本开支1466亿美元，假设2023年中国大陆的集成电路资本开支占全球15.5%，测算得2023年中国集成电路废气治理系统市场空间约23.9亿元，面板2023年开支约342亿元，市场空间约5.1亿元。