一、晶圆的静电卡盘行业概况
在集成电路制造工艺，特别是刻蚀、物理气相沉积及化学气相沉积过程中，为了避免晶片出现移动或者错位现象而导致工艺过程无法正常进行,多采用一定的装置对晶片进行固定、支撑。晶片固定装置主要包括机械卡盘、真空吸盘和静电卡盘三类。
静电卡盘顾名思义是利用静电吸附原理将待加工晶片吸附在其表面并且可以通过背吹气体来控制晶片表面温度的设备，静电卡盘的基本结构主要包括陶瓷基板、静电电极、机械顶针、外设电源、背吹系统、水冷基体等。与传统的机械卡盘和真空吸盘相比静电卡盘具有很多的优点：
机械卡盘、真空吸盘与静电卡盘的特点和对比
资料来源：华经产业研究院整理
二、集成电路行业政策
集成电路产业战略地位显著，为鼓励集成电路产业发展，推进自主可控，摆脱受制于人的情况，国家先后出台一系列集成电路投资税收减免、政府补贴相关政策，举国之力保障供应链安全，促进行业健康发展。近年来集成电路行业一系列支持政策的推出，对晶圆的静电卡盘行业的健康发展提供了良好的保障。
2020年以来集成电路有关政策
资料来源：各政府部门，华经产业研究院整理
相关报告：华经产业研究院发布的《2023-2028年中国晶圆的静电卡盘行业市场深度研究及投资前景展望报告》
三、晶圆的静电卡盘行业现状
在下游需求的刺激下，我国晶圆的静电卡盘行业不断发展，市场规模不断扩张，2021年中国晶圆的静电卡盘市场规模达到2.6亿元，同比增速为48.82%。
2017-2021年中国晶圆的静电卡盘市场规模及增速
资料来源：华经产业研究院整理
近年来我国晶圆的静电卡盘产品呈现出供不应求的趋势。2017至2021年期间，产量方面，我国晶圆的静电卡盘产量自11台增长至42台，CAGR为39.79%；需求量方面，晶圆的静电卡盘需求量自197台增长至407台，CAGR为19.89%。
2017-2021年中国晶圆的静电卡盘产量及需求量情况
资料来源：华经产业研究院整理
目前,国内晶圆的静电卡盘行业需求的地区主要分布在国内半导体产业集中的华北、华东地区。2021年两大地区的合计占比达到86%。
2021年中国晶圆的静电卡盘消费区域分布
资料来源：华经产业研究院整理
据统计，2017年，我国国产晶圆的静电卡盘均价为18万元/台，进口晶圆的静电卡盘均价70万元/台。2021年，我国国产晶圆的静电卡盘均价增至28.5万元/台，进口晶圆的静电卡盘均价为68万元/台。
2017-2021年中国晶圆的静电卡盘价格走势图
资料来源：华经产业研究院整理
四、晶圆的静电卡盘行业产业链
1、产业链示意图
晶圆的静电卡盘行业产业链上游主要包括氧化铝、钛、碳化硅、聚酰亚胺薄膜及环氧树脂等行业；下游主要集中在半导体设备领域。
晶圆的静电卡盘产业链示意图
资料来源：华经产业研究院整理
2、下游市场
晶圆的静电卡盘行业主要应用于半导体设备行业。根据SEMI统计数据显示，2011至2021年，中国大陆半导体设备销售额从36.5亿美元增长至296.2亿美元，年复合增长率高达23.29%。
2011-2021年中国大陆半导体设备市场销售额及增速
资料来源：SEMI，华经产业研究院整理
五、晶圆的静电卡盘行业重点企业
北京华卓精科科技股份有限公司（简称华卓精科）由清华大学IC装备团队创立，是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业。公司拥有由国内外一流高校毕业的博士、硕士组成的专业研发团队和超精密制造经验丰富的核心生产团队，主要面向芯片制造厂及芯片装备制造商，提供系列整机装备、核心子系统、关键零部件和定制服务。是目前国内唯一一家成功设计研制集成电路光刻机双工件台的企业。数据显示，2021年华卓精科静电卡盘销量为26台，静电卡盘产品业务收入为740.79万元，静电卡盘产品销售均价为28.49万元/台。
2017-2021年华卓精科静电卡盘业务情况
资料来源：公司公告，华经产业研究院整理
华经产业研究院通过对中国晶圆的静电卡盘行业海量数据的搜集、整理、加工，全面剖析行业总体市场容量、竞争格局、市场供需现状及行业典型企业的产销运营分析，并根据行业发展轨迹及影响因素，对行业未来的发展趋势进行预测。帮助企业了解行业当前发展动向，把握市场机会，做出正确投资决策。更多详细内容，请关注华经产业研究院出版的《2023-2028年中国晶圆的静电卡盘行业市场深度研究及投资前景展望报告》。
