一、六氟化钨工艺流程
在钨的氟化物中，六氟化钨是目前唯一稳定存在的钨氟化物，由于六氟化钨特殊的物化性质，其在工业化生产中被广泛应用。从派瑞特气六氟化钨的生产流程来看，派瑞特气自产的三氟化氮与钨粉在反应器裂解生成六氟化钨粗品，粗品气通过冷阱进行收集，经过吸附塔进行纯化，纯化后的产品由精品罐收集，经检测合格后进行充装。
六氟化钨工艺流程
资料来源：派瑞特气招股说明，华经产业研究院整理
二、六氟化钨行业相关政策
目前国内气体公司整体竞争力仍然不足，国家在政策方面鼓励气体企业积极创新，实现技术突破以提高国内企业竞争力。由于工业气体广泛应用于集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造等国家重点发展的新兴行业，国家对这些行业制定的鼓励政策和支持国产化政策也能间接推动工业气体行业的快速发展。
六氟化钨行业相关政策
资料来源：各政府部门网站，华经产业研究院整理
相关报告：华经产业研究院发布的《2023-2028年中国六氟化钨行业发展监测及市场发展潜力预测报告》
三、六氟化钨行业产业链
在电子工业领域，首先六氟化钨可经过化学气相沉积工艺形成金属钨，该法所制的钨具有低电阻率、对电迁移高抵抗力以及填充小通孔时优异的平整性等优点，用它制成的硅化钨可作为电子工业中集成电路的配线材料。其次，通过混合金属的化学气相沉积工艺制得钨和铼的复合涂层，应用于太阳能吸收器以及X射线发射电极的制造。同时六氟化钨也作为电子元器件原材料、聚合催化剂、氟化剂及光学材料原料等。
六氟化钨行业产业链
资料来源：华经产业研究院整理
随着国内电子半导体行业的迅速发展，中国电子气体市场规模不断扩张，从2016年的92亿元增至2021年的160亿元，年均复合增长率为11.7%。
2016-2021年我国电子气体市场规模及增速
资料来源：公开资料整理
四、六氟化钨行业发展现状分析
1、全球市场规模
不同电子特种气体的使用量、价格差别较大，因此市场规模也相差较大。据统计，2021年电子特种气体市场规模为44.23亿美元，其中六氟化钨2021年市场规模为3.35亿美元，位居第二名，占比8%，全球市场规模排名前十的电子特种气体为：
2021年全球电子特气市场规模前十及占比
资料来源：Linx Consulting，华经产业研究院整理
2、全球供需现状
六氟化钨主要应用在集成电路制造领域，因其优良的电性能，广泛使用在化学气相沉积工艺中，通过沉积和堆叠制成大规模集成电路中的导电膜和金属配线材料。随着集成电路工艺的不断迭代，特别是3DNAND层数的不断增加，对六氟化钨产品的需求也与日俱增。据统计，2020年六氟化钨全球总需求约4620吨，预计2025年全球需求增长至8901吨左右，增长空间将近1倍，年均增速达到14%。
2017-2025年全球六氟化钨供需现状
资料来源：TECHCET，华经产业研究院整理
3、国内进出口
从我国六氟化钨月度进出口数据来看，2022年2月、4月、6月、7月、8月与11月出口量尝过60吨，进口量在9月与10月超过50吨，2022年我国六氟化钨整体进口量为715.8吨，进口额为4126.77万美元，出口量为418.85吨，出口额为2424.22万美元。
2022年1-12月我国六氟化钨进出口情况
资料来源：中国海关，华经产业研究院整理
从我国氟化钨进口来源地来看，我国六氟化钨主要从韩国、日本与美国进口，据统计，2022年从韩国进口六氟化钨占比78.93%，日本占比19.43%，美国占比1.64%。
2022年我国六氟化钨进口来源地进口量分布（单位：%）
资料来源：中国海关，华经产业研究院整理
五、六氟化钨行业竞争格局分析
1、全球产能格局
全球市场中，六氟化钨产品的主要参与者有韩国SK Materials、日本关东电化、韩国厚成化工、日本中央硝子、德国默克。六氟化钨在国内实现量产的企业较少，国内厂商现有产能和销售主要集中于派瑞特气。博瑞电子与中央硝子在国内的合资企业博瑞中硝于2021年建成200吨六氟化钨生产线，昊华科技子公司昊华气体目前已建成年产100吨六氟化钨生产线。
全球六氟化钨主要企业产能分布
资料来源：公开资料整理
2、市场份额
2020年，派瑞特气的六氟化钨全球市场份额为16%，排名第四，前三为SK Materials、关东电化、厚成化工。2021年，派瑞特气已新建1,500吨六氟化钨生产线，合计产能达2,230吨，进一步提升了产业规模和行业地位。
2020年全球六氟化钨市场份额（单位：%）
资料来源：TECHCET，华经产业研究院整理
六、中国六氟化钨需求趋势分析
据统计，2021年我国大陆的六氟化钨需求量约为1100吨。由于六氟化钨在逻辑芯片、存储芯片制造中都有使用，特别DRAM、3DNAND用量较大，其中3DNAND层数从32层发展至64层和128层，六氟化钨用量呈几何级增长，同时存储芯片厂商的产能快速拉升，复合增长率超过30%。在使用量增加和下游产能扩张的双重因素驱动下，预计2025年国内六氟化钨的需求量将达到4500吨，年均复合增速为42.22%。
2021-2025年我国六氟化钨需求预测
资料来源：公开资料整理
华经产业研究院对中国六氟化钨行业发展现状、市场供需情况等进行了详细分析，对行业上下游产业链、企业竞争格局等进行了深入剖析，最大限度地降低企业投资风险与经营成本，提高企业竞争力；并运用多种数据分析技术，对行业发展趋势进行预测，以便企业能及时抢占市场先机；更多详细内容，请关注华经产业研究院出版的《2023-2028年中国六氟化钨行业发展监测及市场发展潜力预测报告》。
