一、碳化硅外延炉行业概述
碳化硅外延炉是一种用于生长高质量碳化硅（SiC）晶体的设备，广泛应用于半导体行业，尤其是在高功率、高频率及高温应用领域。外延炉通过控制温度、气氛和气体流量等因素，在碳化硅基片上逐层沉积高纯度的碳化硅薄膜，从而实现晶体的生长和外延结构的优化。该设备能够提供精确的温控和均匀的气氛环境，确保外延生长过程中晶体的质量和一致性，是碳化硅半导体器件制造中的关键设备之一。
二、碳化硅外延炉行业政策
我国“十四五”规划已将半导体用碳化硅纳入国家战略性新兴产业发展的重点产业。近些年中国政府出台政策扶持行业发展，带动碳化硅外延炉行业快速发展，《产业结构调整指导目录（2024年本）》中指出：半导体、碳化硅单晶、硅基电子气体、超高纯稀有金属及靶村、超大规模集成电路铜镍硅和铜铬锆引线框架材料、电子焊料等被列为鼓励类项目。
相关报告：华经产业研究院发布的《2025-2031年中国碳化硅外延炉行业市场全景监测及投资战略咨询报告》
三、碳化硅外延炉行业产业链
1、产业链结构
碳化硅外延炉行业产业链上游为碳化硅衬底、石墨材料、硅烷、乙炔等；产业链中游为碳化硅外延炉行业生产企业；产业链下游为碳化硅外延片、碳化硅功率器件、碳化硅射频器件、半导体封装测试等领域。
2、产业链下游
近年来，随着碳化硅器件在电动汽车、充电桩、光伏新能源等领域的应用需求快速增长，全球碳化硅器件市场规模呈现出显著增长趋势。碳化硅功率器件市场规模上涨也带动碳化硅外延炉行业快速发展，数据显示，2023年全球碳化硅功率器件市场规模为19.72亿美元。
四、碳化硅外延炉行业发展现状
随着国产替代加速以及半导体硅片等下游需求不断释放，衬底片产能持续增加，我国外延炉行业市场规模扩大。数据显示，2023年中国碳化硅外延炉行业市场规模已超过15亿元，随着下游需求的不断上涨，预计2026年中国碳化硅外延炉行业市场规模将上涨至21.66亿元。
五、碳化硅外延炉行业市场竞争格局
1、竞争格局
海外四大龙头垄断碳化硅外延设备市场，国际厂商产能紧缺加速国产替代。目前全市场外延炉供应商被四家龙头海外公司所垄断，国内供应商主要包括晶盛机电、北方华创、恒普股份等。当前，海外供应商的外延炉产能极其紧缺，在未来的扩产潮中可能成为产业链中的卡脖子环节。
2、重点企业分析
在8-12英寸半导体大硅片设备领域，晶盛机电开发出了包括全自动晶体生长设备（直拉单晶生长炉、区熔单晶炉）、晶体加工设备（单晶硅滚圆机、截断机、金刚线切片机等）、晶片加工设备（晶片倒角机、研磨机、减薄机、抛光机）、CVD设备（LPCVD、外延设备）；并基于产业链延伸，开发出了应用于8-12英寸晶圆及封装端的减薄设备、外延设备、LPCVD设备、ALD设备等；以及应用于功率半导体的6-8英寸碳化硅外延设备和光学量测设备。2024年1-9月公司收入为144.8亿元。
六、碳化硅外延炉行业发展趋势
中国碳化硅外延炉行业将朝着高温高效能、智能化与自动化控制、绿色环保和高产能化方向发展。未来的外延炉将具备更精确的温控技术和更高的生产效率，以满足日益增长的碳化硅材料需求，同时通过智能控制和数据分析优化生产过程。此外，设备将更加环保、节能，并支持多种外延工艺，提升生产灵活性和成本效益。随着技术的不断突破，碳化硅外延炉将为半导体、能源和新能源汽车等行业提供更加高质量、高效和可持续的制造解决方案。
华经产业研究院对中国碳化硅外延炉行业发展现状、市场供需情况等进行了详细分析，对行业上下游产业链、企业竞争格局等进行了深入剖析，最大限度地降低企业投资风险与经营成本，提高企业竞争力；并运用多种数据分析技术，对行业发展趋势进行预测，以便企业能及时抢占市场先机；更多详细内容，请关注华经产业研究院出版的《2025-2031年中国碳化硅外延炉行业市场全景监测及投资战略咨询报告》。
