一、CMP设备概述
集成电路的制造过程好比建多层的楼房，每搭建一层楼层都需要让楼层足够平坦齐整，才能在其上方继续搭建另一层楼，否则楼面就会高低不平，影响整体性能和可靠性，而能够有效令集成电路的“楼层”达到纳米级全局平整的技术就是CMP技术，CMP设备则是对硅片/晶圆自动化实施CMP工艺的超精密装备。CMP是在芯片制造制程和工艺演进到一定程度、摩尔定律因没有合适的抛光工艺无法继续推进之时才诞生的一项新技术，主要用于单晶硅片制造和芯片制造的“前道工艺”，实现晶圆表面多余材料的高效去除，保证全局纳米级平坦化、微结构完整无损。
CMP设备应用
资料来源：华经产业研究院整理
二、CMP设备市场规模
2012-2019年全球CMP设备市场规模整体上呈现上升趋势，到2018年全球CMP设备的市场规模达到最大值，约为25.82亿美元，而2019年较2018年下滑至23.05亿美元，下滑幅度为10.73%。
2012-2019年全球CMP设备市场规模统计
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分地区来看，韩国市场规模最大，占全球CMP设备市场的26%；中国大陆市场规模仅次韩国，CMP设备占比为25%；北美CMP设备市场占比为13%；中国台湾CMP设备市场占比为10%；日本CMP设备市场占比为9%；欧洲CMP设备市场占比为7%。
2019年全球CMP设备市场区域结构
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相关报告：华经产业研究院发布的《2021-2026年中国专用设备制造市场竞争策略及行业投资潜力预测报告》
三、CMP设备市场竞争格局
2017年和2018年美国应用材料和日本荏原两家公司合计占有全球CMP设备98%和90%的市场份额。到2019年应用材料占据了70%的市场，日本的荏原机械占据了25%的市场，两者合计占有95%的市场，其他厂商占5%。
2019年全球CMP设备行业市场格局
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2019年中国大陆地区的CMP设备市场规模保持平稳，达到4.6亿美元的销售额，但大部分高端CMP设备仍依赖于进口。2013年-2019年中国大陆地区CMP设备年均复合增长率达到33.85%。国内CMP设备的主要研发生产单位有华海清科和北京烁科精微电子装备有限公司，其中华海清科是目前国内唯一实现12英寸系列CMP设备量产销售的半导体设备供应商。
国内外主要CMP设备厂商对比
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四、华海清科分析
目前，华海清科的设备主要分为300系列和200系列，其中300系列主要应用于12英寸芯片产线，200系列设备则用于8英寸产线。
根据统计，300系列设备是华海清科的主营产品，2020年300系列设备销售金额占总营收比例分别为88.91%，200系列占比为2.64%，配套材料及技术服务占比则为8.45%；2018年-2020年，300系列设备的销售金额占华海清科营收占比分别为89.01%、92.39%和88.91%。
2020年华海清科业务营收占比
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在客户方面，由于半导体行业技术密集和资本密集的特性，华海清科的客户相对较为集中。2018年、2019年、2020年，华海清科前五大客户占比分别为99.09%、94.96%和85.71%。
具体来说，中芯国际自2017年以来就一直是华海清科的前五大客户，华虹集团从2018年后也一直是其前五大客户。2020年，长江存储销售金额为1.28亿元，占华海清科同期营收比例为33.22%，华虹集团、中芯国际、睿力集成电路有限公司、浙江驰拓科技有限公司则是华海清科其余前五大客户。
2018-2020年华海清科前五大客户销售情况
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